中古 ASML PAS 5500 / 750F #293655012 を販売中

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ID: 293655012
DUV Stepper Chamber.
ASML PAS 5500/ 750Fは、半導体デバイスを作成するためのハイエンドフォトグラフィックステッパーです。本装置は、幅広いウェハイメージング用途において、高解像度、高速スループット、精度を提供するフォトリソグラフィーツールです。PAS 5500/ 750Fの7nm分解能は、半導体産業における高品質で高精度なレイアウトの生産に最適です。ステッパーには、正確で強力なイメージングを提供するArFエキシマレーザー光源など、いくつかの先進技術が搭載されています。この高精度レーザーソースは、ピクセルサイズが7nmまでのウェーハに画像を投影することができます。ASML PAS 5500/ 750Fは、紫外線(UV)カメラとマルチドメインアライナーを備えており、パターニングに優れた精度を提供します。このシステムは、液浸メディア、レジスト、マスキングレイヤーなど、さまざまなレイヤータイプを使用するようにプログラムされています。さらに、このステッパーは、さまざまな光波長を使用してさまざまなレイヤーをパターン化することもできます。これらには、ArF (193nm)、 KrF (248nm)、 I-line (365nm)が含まれる。ASMLの高度な技術者は、カスタムソリューションの開発にPAS 5500/750Fを使用しています。マルチノズルローディングユニットとカセットベースのウェーハハンドリングメカニズムを内蔵し、高速ウェーハ転送とウェーハ容量の増加を可能にします。このマシンには、ステッパーの操作を簡素化する直感的なユーザーインターフェイスが付属しており、半導体ステップと繰り返しパターンの一貫性を確保するのに役立ちます。ASML PAS 5500/ 750Fは、高耐久線形装置を備えており、高精度のアライメントおよびオーバーレイ測定に最適です。さらに、強力なイメージング制御プログラムがバックグラウンドで実行され、ウェーハ表面やその他のパラメータを連続的に制御できます。この機能により、最終製品の全体的な品質が向上し、要求の厳しいエンドユーザーの期待が常に満たされるようになります。全体として、PAS 5500/ 750Fは強力で高度で信頼性の高いウェーハステッパーです。高いスループット、正確さ、正確な画像とパターン配置をユーザーに提供します。高度なイメージング制御と相まって、イメージングマシンの高解像度は、最高の精度で半導体デバイスを作成し、完璧にすることができます。
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