中古 ASML PAS 5500 / 750E #293812100 を販売中

ASML PAS 5500/ 750Eは、半導体製造のニーズと課題に対応するために特別に設計された高性能ウェーハステッパーです。これは、非常に正確で高解像度のフォトリソグラフィーおよびウェーハオーバーレイ用途に最適化された、大規模な没入投影ステッパーです。この装置は、高性能、高収率、および信頼性の高い半導体デバイスの製造のための高品質の感光型を製造することができます。PAS 5500/ 750Eは、光学サブシステム、花崗岩ベース、2軸翻訳ステージ、モーターサポートで構成されています。その投影光学系は、無限補正された、無色透明の高い数値開口部、最大1。2mmの視野を持つ異光学対物レンズで構成されています。光学サブシステムには、レーザー干渉計とテレセントリックビームスプリッタも装備されています。さらに、ステッパーには10Xカメラと1。5mmピッチ解像度のデジタルステッピングステージが装備されています。構造安定性と振動減衰を提供する花崗岩ベースは、ユニットの柔軟性のないタイトなプロセス制御に不可欠です。翻訳段階にはフィードバックリニアモータが搭載されており、0.5µm再現性と5µm直交精度を備えたデジタルモーションコントロールマシンによって駆動されます。モータ駆動はASMLエレクトロニクスモジュールによって制御され、2軸の動きを正確に制御するためのリアルタイム変換回路が含まれています。モーターサポートは、5.5Aの最大電流処理能力を備えています。ステッパーの制御ツールは、Linuxタイプの動作資産に基づいており、ウェハ認識モデル（WRS）、プログラム可能なパターニングレベル、フィールドシフト、マスクの乱用防止、およびセカンドコンタクトを備えています。WRSは、ウェーハサイズと厚さを識別し、それに応じてパターン生成設定を調整します。全体として、ASML PAS 5500/ 750Eは、高度な光学、精密モーションコントロール、および高精度、信頼性、生産性を実現するその他の機能により、ハイエンドのフォトリソグラフィーアプリケーションに最適なソリューションです。