中古 ASML PAS 5500 / 750E #293809107 を販売中

ASML PAS 5500/ 750Eは、集積回路の製造に使用されるウェーハステッパー（フォトリソグラフィーマシンとしても知られる）です。最大75ミクロンの分解能で、高精度で高速な配線とトランジスタを作成できます。PAS 5500/ 750Eは、一連のステップを通じてこれを達成します。まず、ステージ上にウェーハを置き、真空状態で所定の位置に保持します。この段階は、水平または垂直に機械の光学系に整列します。ステージが正しく配置されると、ASML PAS 5500/750Eの円弧状のレチクルまたはマスクがウェハに合わせられます。マスクのアーク形状はウェーハの輪郭を正確に追従し、効果的にトランジスタを分離し、パターンをマスクからウェーハに転送することができます。PAS 5500/ 750Eは、ステッパー装置を使用して、電動ステージおよび反射照明システムを使用して、マスクをウェーハに正確に配置します。このステージは2方向に移動できます。シータ軸はマスクを回転させ、z軸はマスクを上下に移動させて異なるレイヤーを欠陥させることができます。ASML PAS 5500/ 750Eには、ウエハを露出させるためにUV光を発するUVレーザーイルミネータもあります。この照明は、アーク状のマスクを通してフィルタリングされ、特定の波長だけが通過することができます。このプロセスは何度か繰り返され、必要な回路を作成するためにチップの各層を露出させます。最後に、PAS 5500/ 750Eは高度なソフトウェアを使用してユニット全体を制御し、レイヤーが正確に印刷されるようにします。このソフトウェアは、異常が発生した場合に印刷エラーをデバッグするのにも役立ちます。全体として、ASML PAS 5500/ 750Eは、マスク、ステッピングマシン、およびUVレーザーイルミネータを組み合わせて、高精度で高速な集積回路を作成できます。これにより、チップメーカーにとって強力で不可欠なツールとなり、高品質の製品を確実に生産できます。