中古 ASML PAS 5500 / 700D #293655013 を販売中

ASML PAS 5500/ 700Dは、半導体産業でIC（集積回路）を製造するために使用される高度なウェーハステッパーです。スループットを損なうことなく、チップに非常に細かく正確な機能を提供します。PAS 5500/ 700Dには、CAD-to-maskジェネレータ、投影光学、統合スキャンイメージング機能が組み込まれており、利用可能な最速の半導体リソグラフィープロセスを可能にします。レチクルフィールド全体をスキャンしてウェーハに投影し、最高の精度とディテールでICを生成することができます。ASML PAS 5500/ 700Dの中心には、14ナノメートルのスポットサイズを提供できる高度なASMLプロジェクションオプティクスがあります。これにより、最小のフィーチャーサイズを正確に生成することができます。多くの場合、ノード番号の10分の1だけです。パターンジェネレータは、非線形マスキングや高度な照明オプションなど、いくつかの革新的な技術を使用して、最終製品の機能サイズが可能な限り正確であることを保証します。さらに、PAS 5500/ 700Dには自動レチクルローダーが付属しており、レチクルの急速な変更とサイクル時間の短縮を可能にします。また、ASML PAS 5500/ 700Dは、ウェットとドライコーティングの両方を同時に適用することにより、ウェーハ上で最高品質のコーティングを提供する専用コータシステムを備えています。さらに、機械を最適な温度で動作させ、最高の性能を発揮する高度な冷却システムを内蔵しています。全体として、PAS 5500/ 700Dは、比類のない精度とスループットを提供する強力で高性能なウェーハステッパーです。その高度な機能と技術は、微細かつ正確な機能を製造する必要があるあらゆる半導体製造プロセスに最適です。