中古 ASML PAS 5500 / 700 #9046362 を販売中

ASML PAS 5500/700は、半導体部品の製造に使用される先進的なウェーハステッピング装置です。専門メーカーのASMLによって開発されたこのマシンは、部品を正確に製造およびテストするための効率的で信頼性の高い手段をデバイスメーカーに提供するように設計されています。このツールは、最高品質の半導体部品を製造するために必要な精度と能力を提供するために、最先端の光学およびエレクトロニクスを利用しています。特許取得済みの5軸モーションデザインで、2軸スキャニングステージ、2軸ポジショニングステージ、ダイレクトドライブモータを備えています。これにより、運動段階からバランスウェイトなどの重要でない要素を除去することが可能になり、より高い精度と安定性と動作速度の向上を実現します。さらに、ユニット全体がエアベアリングに取り付けられ、安定性と振動減衰特性が向上します。PAS 5500/700は、強化された3D画像解析と処理、高性能な自動レンズ校正機、高度な欠陥解析アルゴリズムなど、さまざまなソフトウェアおよびイメージング機能を搭載しており、品質管理を向上させています。さらに、包括的な安全機能と監視機能を備えており、包括的なデータロギングと詳細なリアルタイムのプロセス分析のレビューを提供します。このツールには、ウェーハの外部障害や影響を排除するための自動プロセス補正も含まれています。ASML PAS 5500/700は、ユーザーフレンドリーな制御機能を備えた高精度な機器です。アセットを安定した温度範囲内に保つための統合熱制御を提供し、精密な光学および電子性能を可能にします。このモデルは、リアルタイムのバックアクションとアップグレード機能を含むすべてのサブシステムの完全な自己監視で動作します。また、リアルタイムのリモートコントロールにより、オペレータは、効率的な監視とメンテナンスのための広範な可視化、データ収集、および診断ツールを提供します。装置は技術を利用して、デバイスメーカーに最高の性能と歩留まりを提供します。PAS 5500/700では、半導体部品メーカーは信頼性が高く、正確で高効率なシステムを使用できます。