中古 ASML PAS 5500 / 700 #293816709 を販売中

ASML PAS 5500/700シリーズウェーハステッパーは、現在の半導体産業におけるシリコンウェーハ上の精密なリソグラフィー画像処理に使用される自動化された機械です。光リソグラフィープロセスを使用してウェーハ上のパターンを露出させ、集積回路、シリコンチップ、その他の半導体の製造に必要なマイクロ回路を作成します。このステッパーの主な特徴の1つは、その高い数値開口と露出の柔軟性です。NAまたは0。7の数値絞りにより、高解像度のイメージングと細かいパターニングが可能です。様々な光学レンズを使用して露光パターンを集中させ拡大することを可能にする複合照明器とミラー装置を使用することによって実現されます。さらに、4、5、6、8インチのサイズにカスタマイズできる露出フィールドを備えています。このウェーハステッパーには、減衰位相シフトマスクレンズとデュアルゾーンイルミネーションシステムを備えた複合対物レンズの2つの対物レンズが装備されています。減衰位相シフトマスクレンズは、ウエハ表面に紫外線を照射してパターンを作成し、デュアルゾーンイルミネーションユニットを備えた複合対物レンズは、収差を制御しながらパターンを増幅します。この配置により、ステッパーはパターン忠実度とイメージング深さの面でパフォーマンスを向上させることができます。PAS 5500/700シリーズウェーハステッパーは、イメージング性能とは別に、高度な多軸モーションコントロールとチューニングマシンを備えています。このツールは、コントローラ、エンコーダ、およびステッパーが正確なトラックの動きと位置を提供できるようにするモータードライバで構成されています。ステッパーは、ウェーハの動きと正確な位置決めのためのXYステージと、微細なインクリメンタルフォーカスのための高度なボイスコイルセンサーを備えています。安全性と信頼性の観点から、このウェーハステッパーには、TEMIRビームストップやホースストップセキュリティアセット、ファンガード、火災制御システム、温度センサー、ドアマグネット、およびその他の安全装置などのいくつかの機能が装備されています。最後に、ステッパーはCE認定を受けており、設計、性能、および産業操作の面ですべての安全規制を満たしています。全体として、ASML PAS 5500/700シリーズウェーハステッパーは、最も要求の厳しい半導体プロセスに適した最適なリソグラフィックイメージング性能を提供します。その高い数値絞り、露出の柔軟性、高度なモーションコントロールモデル、安全性と信頼性の特徴は、集積回路、シリコンチップ、およびその他の半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。