中古 ASML PAS 5500 / 60B #293817855 を販売中

ASML PAS 5500/ 60Bは、半導体チップ製造に使用される光学イメージングリソグラフィ装置です。本機は、マイクロエレクトロニクス機器の製造に使用される光学イメージング装置の一種であるウェハステッパーです。PAS 5500/ 60Bは最先端のツールで、エレクトロオプティカルマスクを取り込み、動くシリコンウェーハに転送することができます。ASML PAS 5500/ 60Bは、高度なリソグラフィ、高精度アライメント、および高歩留まりチップ設計の生産のための非常に高速なスキャン機能を備えています。ウェーハステッパーは、自動認識とレチクルの2次元プレゼンテーションを備えた高性能でスキャン対応のレチクルステージを備えています。また、高精度な画像登録を可能にする高精度アライメントシステムと、画像処理中にきちんと光学系を集中させるオートフォーカスユニットを備えています。PAS 5500/ 60Bは0。2マイクロメートルまでの特徴サイズの破片の設計を作り出すことができます。また、プロセスの再現性が高く、実質的に同じ特性を持つチップの生産を可能にします。このマシンはまた、高速バーストモードのスキャン機を備えており、チップイメージを迅速かつ正確に作成することができます。ASML PAS 5500/ 60Bは、幅広い入出力パラメータを備えており、ウェーハクリティカルディメンション（CD）測定器など、他のイメージングシステムと接続するためのさまざまな機器に接続できます。このツールはまた、両面マスキングを使用せずに両面回路の生産を可能にする2層オーバーレイ機能を備えています。比較的小型のマシンでありながら、PAS 5500/ 60Bは、高品質のチップ設計の生産に必要なすべての高度な機能を備えています。複雑な集積回路を製造するための信頼性と費用対効果の高いツールであり、半導体チップ製造にとって魅力的な選択肢です。