中古 ASML PAS 5500 / 60 #9275776 を販売中

ASML PAS 5500/60は、半導体集積回路の製造に使用される高解像度ウェーハステッパーです。ウェーハ毎の露光時間を短縮し、精密リソグラフィープロセスを効率化するように設計されています。ステッパーは、必要な形状をエッチングするために、ウェーハ表面に光のパターンを投影することによって機能します。ASML PAS 5500/60は、高度な6軸、高解像度の化学投影ステッパーです。最先端の光学技術とスキャン技術を搭載したステッパーは、幅広い機能サイズとプロセス機能を備えています。そのジオメトリは、高いスループットと再現性のあるパフォーマンスに最適化されているため、品質を犠牲にすることなく高速なリソグラフィックサイクルを可能にします。PAS 5500/60ステッパーは、ウェーハ表面の望ましいパターンの高精度な画像を生成する3ミラーイメージングシステムを備えています。これらの画像をウェーハ上の特定の位置に正確に配置することで、ステッパーは目的の形状にトランジスタゲートなどの非常に正確な機能をエッチングすることができます。PAS 5500/60には、高度なオートメーションおよび制御システムも搭載されています。これにより、ステッパー内のウェーハのアライメントと位置決めがしっかりと一貫していることが保証されます。さらに、ステッパーは高度な熱管理技術を使用して、動作中に一定の温度を維持し、最も信頼性の高い正確なリソグラフィープロセスをもたらします。ASML PAS 5500/60は、幅広いプロセス要件に対応できるため、半導体ウェーハ製造における大量生産に適しています。高解像度の光学系と自動化された制御システムにより、すべての露出が可能な限り正確かつクリーンであることが保証され、再作業の必要性が低減されます。最後に、ステッパーの幅広い露光範囲とより高速なウェハスキャンのオプションにより、産業用スケールのリソグラフィ用途において強力で費用対効果の高い選択肢となります。