中古 ASML PAS 5500 / 500 #293817858 を販売中

ASML PAS 5500 / 500
ID: 293817858
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.4-0.63 Resolution: 220 nm DCO:  45 Throughput (WPH): 96.
ASML PAS 5500/500は、半導体リソグラフィ装置およびシステムの大手メーカーであるASMLが製造したウェハステッパーです。これは、集積回路の製造に使用するための薄くて正確な回路層を作成するために使用されます。PAS 5500/500は、市場におけるステッパーの最高解像度を備えているため、次世代の先進半導体技術の開発において重要なコンポーネントです。ASML PAS 5500/500は、光学部品とX線アライメントレーザー装置を統合するために使用されるツールです。これにより、最大解像度0。25 μ m、ウェーハ表面の均一なパターンを実現します。現場監視システムは、ステッパー部品の非常に正確な位置決めを生成します。ステッパーはまた、高解像度、マルチレベルのリソグラフィ機能を備えた光学イメージングの最新技術を備えています。PAS 5500/500は、高精度の惑星ステージと強力な2次元モーターを備えています。これにより、露光時間を正確に最適化し、正確なマスクとウェーハアライメントを実現します。ステッパーは最新のイメージシャープンユニットを使用しており、幅広い露光タスクに対応できます。ASML PAS 5500/500は、信頼性が高く堅牢な機械で、寿命は10年です。作動中の振動を低減し、潤滑を必要としない電子制御の電気機械的浸漬機構を備えています。安全面では、PAS 5500/500には安全な非常停止機があり、厳格な温度および湿度制御を提供するための包括的な環境保護があります。また、ステッパーと関連部品の両方を効率的に操作できるように設計されており、効率的な操作は潜在的な損傷とクリーンルーム汚染のリスクの両方を低減します。全体として、ASML PAS 5500/500は非常に効果的で信頼性の高いリソグラフィーステッパーです。市場で最高の解像度を提供し、現場でのモニタリングと画像の鮮明な技術、効果的に最適化された露光時間を提供します。それは振動および緊急停止用具を減らす電気機械的に浸るメカニズムが付いている安全、強い、非常に信頼できます。PAS 5500/500は、高度な半導体製造業界で使用するための薄くて精密な回路層を作成する上で重要なコンポーネントです。
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