中古 ASML PAS 5500 / 500 #293814112 を販売中

ASML PAS 5500/500は、半導体デバイスの製造に使用される高度なウェーハステッピングツールです。さまざまな半導体部品の高精度な微細構造を製造することができます。半導体ウェーハに紫外線パターンを露出させるアライメント装置とイメージング装置を使用しています。Variable Symmetry System （VSS）は、投影された画像の形状、視野の大きさ、フォトマスクの種類などの要因を調整するための柔軟性を提供する強力な照明ユニットです。このツールには4つの光学システムがあり、それぞれに複数のレンズと個別のアライメントマシンが含まれています。各ツールは個別に調整することができ、異なる条件下で安定した再現可能なアライメント精度を提供します。また、低歪みプロジェクションレンズを採用しており、正確で一貫性のあるリソグラフィープロセスを実現しています。PAS 5500/500には高度なスキャンモデルも搭載されており、オーバーサイズのフィールド、サブフィールド、小さなジオメトリなど、さまざまなレイアウト形状の高解像度イメージングを実現します。また、ステッパーの反復可能な動きを利用して、複数の視野を正確に追跡します。さらに、ASML PAS 5500には信頼性の高い真空クランプ技術が搭載されており、露光プロセス中のウェーハの歪みを防ぎます。また、OCR読み出し装置を内蔵しており、各ウェーハの複数のバーコードを簡単に読み取ることができ、迅速で自動化された処理が可能です。結論として、PAS 5500/500は、最新の半導体製造の要求を満たすように設計された強力で高精度なウェーファーステッパー工具です。高度で高解像度の光学およびスキャンシステムにより、プロセス全体にわたる微細な機能と正確で信頼性の高いウェーハクランプを正確かつ再現可能にします。