中古 ASML PAS 5500 / 400D #9296950 を販売中

ASML PAS 5500/ 400Dは、非常に大量かつ高スループットの半導体チップ生産で動作するように設計された非常に技術的なウェーハステッパーです。PAS製品ファミリーの一部であるこのステッパーは、最新のASML設計のPAS5mスキャナ、180nmの解像度、7nmの深さの焦点などの高度な技術を備えた最先端のリソグラフィ機器です。このシステムは、毎時15,000ウェーハの最大スキャン速度で最高性能を保証するように設計されており、スキャン速度は毎秒70nmです。これにより、スループットを最大化し、ダイあたりのコストを削減できます。ユニットの最小のアウトガス機能により、クリーンで正確なプロセスを提供し、欠陥発生を最小限に抑えます。大型ロジックチップ、組込み回路、マシンオンチップの製造に最適です。線幅内の機能は優れており、優れた機能面での均一性と再現性を誇っています。また、高度な表面計測機能と高度な測定機能を統合し、正確なパターン登録と優れたオーバーレイ結果を実現しています。このモデルは、リニアモータによって駆動される2つの光学スキャンステージを備えており、再現可能な精度で重要な構造を製造するように設計および運用されています。また、ツールにはいくつかの高度なアライメントとプロセス制御パッケージが含まれています。これにより、短いサイクルタイムと最大精度を実現します。ASML PAS 5500/400Dは、モデルのカスタマイズのための様々なオプションを通じて、多くの顧客のニーズに合わせて調整することができます。これには、対物レンズ、ドライクリーニング/ウェットクリーニング、ステージ精度のさまざまな選択肢が含まれます。ラインナップを完成させるために、EUVと従来のArF光源の両方に最適化されています。PAS 5500/400 Dは、高容量で正確なチップ生産のために設計された印象的に高度なステッパーです。これは、信頼性の高いマイクロエレクトロニクス生産モードで優れた性能と優れた再現性を必要とする半導体メーカーの期待を満たしているか上回っています。