中古 ASML PAS 5500 / 400C #9049031 を販売中

ASML PAS 5500/ 400Cウェハステッパーは、半導体製造業界で広く使用されている高度なマイクロリソグラフィーマシンです。ウェーハに層ごと印刷された集積回路を精密に加工することができます。この装置は、モーションコントロール回転プラットフォームに取り付けられた光学アセンブリを使用して、ウェーハの表面に正確にパターンを画像化します。イメージングシステムは、プロジェクションレンズ、ビームコンデンサー、光源を含む光学アセンブリを備えたレーザーステッパー/スキャナで構成されています。また、先進的な赤外線画像センサ、フォーカスとアライメントの目的、およびレチクルステージが含まれています。ウェーハステッパーは、250nmの解像度で、ウェーハ上のフォトレジストの層にレイヤーをイメージングすることができます。光学式アセンブリマウントは、広い視野（FOV）を使用して、基本的な1x削減から最大4x削減まで、さまざまなレチクルを可能にします。さらに、4nmまでの位置精度と0。2 mradの傾き精度を提供する高度なアライメントとレベリングマシンを装備しています。光学系はXYZ方向に配置して制御することができ、最大速度は1。2m/sです。ウェハステッパーは、振動や温度変動などの環境要因を自動的に検出し、自己補正することができます。高度なクローズドループ熱制御ツールを使用して、均一な温度を維持します。これらはすべて、高収量デバイスの製造を確実にするために必要な精度を提供します。さらに、ASML PAS 5500/400 Cは、ハイエンドコンピュータを使用して資産の制御と監視、予測モデルと品質管理メトリクスの実装を行います。また、PAS 5500/ 400Cは、ウェーハやレチクルを自動交換する高精度ステージを搭載しています。このモデルには、光学アセンブリとの偶発的な接触を防ぐための特別な安全ユニットも含まれています。ウェーハステッパーは、フォトマスクや光学系からクォーツウェーハ、薄膜まで、さまざまな材料や基板を加工することができます。露出、エッチング、クリーニング、コーティングなど複数の操作が可能です。全体として、PAS 5500/400 Cウェーハステッパーは、半導体産業に高精度のイメージングおよびパターニング機能を提供する先進的なマイクロリソグラフィ装置です。先進的なイメージングオプティクス、コンピュータ制御による位置決め・熱制御システム、ウェーハとレチクルの交換ユニットを備えています。これらの機能により、高精度で再現性のある必要な処理を行いながら、環境変動の特定、補正、補正を行うことができます。