中古 ASML PAS 5500 / 400C #293655011 を販売中

ASML PAS 5500/ 400Cは、ASML （Applied Scanning Technologies）が半導体産業のために開発したウェーハステッパーです。ASML PAS 5500/400 Cは、深紫外線照明を使用した多層集積回路の製造用に設計されたステップおよびリピートリソグラフィーツールです。FPA （Focal Plane Array）技術は、高い画質と高いスループットを提供します。このマシンは、高解像度を維持しながら、65nm x 65nmドメインサイズで最大1.2Mメガネ/分をスキャンすることができます。PAS 5500/ 400C機器には、スキャンヘッドと照明器具が内蔵されているほか、高精度のウェーハアライメントとトレーサブル制御を提供する近接補正システム（PCS）が付属しています。内蔵の照明器具は、13。4nm波長露光用にレーザダイオードポンピングアルゴンフッ化物（ArF）レーザー技術を使用しています。それに高い均等性およびピークの明るさの機能のための有効なマルチブランキングの源があります。PAS 5500/400 Cは独自のHybrid Astigmatismサブユニットを使用して歪みを低減し、「Peak Precision Calibration」を可能にします。これにより、プロセッサの時間が短縮され、スキャンされた画像の忠実度が向上します。ASML PAS 5500/ 400Cは「、デュアルパス」や「ダブルArF」露光技術など、複数のコンポーネントを同時に使用することにより、競争力のある露光時間と高解像度を提供します。ASML PAS 5500/400 Cマシンは、高解像度の3Dマッピングオプションを備えた高度な計測機能も備えています。パターン配置精度、オーバーレイ精度、ウェーハオーバーレイ登録などの機能をウェーハサイズの全範囲で測定できます。このツールには、プロセスレシピの標準ライブラリが付属しています。PAS 5500/ 400Cは、半導体業界の厳しい要件に適した汎用性と効率的なウェーハステッパーです。高画質、生産性、解像度、計測機能を提供し、24時間365日体制での生産に最適です。これは、優れたコストパフォーマンス比と実績のある信頼性と長い耐用年数を持っています。PAS 5500/400 Cウェーハステッパーは、幅広い製品に最適な製造ソリューションです。