中古 ASML PAS 5500 / 400B #293817860 を販売中

ASML PAS 5500/ 400Bは、半導体フォトリソグラフィ用に設計された液浸ステッパーです。集積回路チップ上で高精度なパターンを確実に生成するための理想的な選択肢です。最先端の光学および機械技術により、サブミクロンおよびナノメートルスケール製品に最適です。PAS 5500/ 400Bは、エアベアリングステージを備えた高性能スキャンタイプのステッパーです。このスキャナは、高精度のサーボループ制御と強化されたHeNeレーザーオートコリメータ干渉計を備えています。また、高度な画像評価プログラム、高精度、および優れたアライメントを提供します。高いスループット、迅速なスペース幅（サイドウォール角度）生成が可能で、ラメラパターニング用途において優れたコントラストを提供します。ASML PAS 5500/ 400Bは、プロトタイピングのための長い露出実行に必要なものから、高い歩留まり生産と最大スループットのための短い露出時間を必要とするものまで、露出プログラムが可能です。また、ウエハサイズは直径8インチまで対応可能で、ダイサイズは5ミクロンまでの加工が可能です。このマシンは、すべてのフィールドサイズにわたって均一で正確な露出性能を提供します。このクリスタルフラット光学系は、すべてのフィールドサイズにわたって優れた焦点深度を提供し、オートフォーカス・システムは露光中の焦点条件を最適化します。PAS 5500/ 400Bは、高度に複雑な集積回路パターンを高精度かつディープフォーカスするように設計されています。これは、VLSIおよびメモリチップ、および生物医学的基板の製造に理想的な選択肢です。また、フリップチップ用途に最適で、マスクレスファインラインパターニングにも適しています。このマシンは、最高の精度と再現性を提供し、複数のウエハランにわたって正確なパターンを保証します。また、コンパクトな設計で振動を最小限に抑え、高いスループットを実現しています。ベクトルデータ入力およびオーバーレイキャリブレーション用の周辺コントローラは、処理中に柔軟な動作を提供します。結論として、ASML PAS 5500/ 400Bは堅牢で信頼性の高いウェーハステッパーであり、集積回路の高精度パターニングに優れた性能を提供します。高精度スキャン、優れたパターンの均一性、柔軟な操作により、高精度のリソグラフィ製造プロセスに最適です。