中古 ASML PAS 5500 / 400 #293817861 を販売中

ASML PAS 5500/400は、マイクロリソグラフィー部品の大量生産用に設計された高精度の5軸自動ウェーハステッパーです。このステッパーは、Koch/Oerlikonが特許を取得したスキャン技術を使用して、半導体ウェーハ表面の正確なスキャンを可能にし、組み込みの高速スキャン機能を備えた半導体部品のパターンを形成します。PAS 5500/400は、ウェーハの正確な取り扱いとアライメントを可能にする革新的なウェーハチャック装置を備え、ステッパーのスキャン速度と加速度を正確に制御します。ステッパーはまた、精密かつ再現性のあるモータ制御を備えており、スキャン速度と加速度の正確なガイダンスと、一貫して正確で再現可能なスキャンパターンを可能にする適応補償を可能にします。ステッパーは、ウェハのハンドリングとアライメントを安定させるために、高度な自動アクチュエータシステムを備えており、チャックと移動テーブルの正確なアライメントを保証します。ASML PAS 5500/400の光学ユニットは、非常に高精度で、300MM （12インチ）の焦点フィールドサイズで設計されています。それは最高のオーバーレイ、ピッチ、焦点および直線性の正確さのサブミクロンレベルのパターンを作り出すように設計されています。また、露出とフォーカスの可変性を正確に最適化できる調整可能な光学機器を備えています。このツールはまた、クラスタレベルのネットワーク機能を備えており、資産ステータスやデータへのリモートアクセス、およびモデルに障害が発生した場合のステッパーのリモート操作と制御を可能にします。これに加えて、ステッパーには診断機能が内蔵されており、ユーザーは最適な動作を保証するために、光学およびモータ性能などのステッパーのコンポーネントを診断することができます。PAS 5500/400は、生産環境での使用に理想的で、何度でも複製できる高精度、再現性、信頼性の高い結果を提供します。その高度な機能と設計により、さまざまなアプリケーションに適しており、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとネットワーク機能により、理想的な選択肢となります。