中古 ASML PAS 5500 / 350C #9137673 を販売中

ASML PAS 5500/ 350Cは、マイクロリソグラフィ用途向けの革新的なウェーハステッパー装置です。このステッパーは、小さな構造物に高品質のリソグラフィ印刷を生成することを可能にするユニークなデザインを持っています。ASML PAS 5500/350Cは専門の光学システムが装備されており、信頼でき、反復可能なプロセスを提供するのに最先端の技術を使用しています。このユニットは、1ミクロンの位置決め精度と20ミクロンの絞りサイズを備えており、露出性能に優れた最新のレーザー技術を備えています。PAS 5500/ 350Cは350ワットのクリプトンレーザーを搭載しており、高解像度の画像処理と信頼性の高い高速パターニング時間を実現します。このレーザーは70w/cm2の強度で17nm特徴サイズまで提供できます。レーザーの波長は6。45ミクロンで、マイクロリソグラフィで使用される高度なフォトレジストの露出に最適です。レーザーは350ワットから1。2 kWまでの出力を備えています。PAS 5500/350Cは、高精度なアライメントとフォーカスシステムを利用しています。このステッパーには、画像処理用の特許取得済みの低分散の対物レンズ機があります。対物レンズは、0。55 NAモードと1。2 NAモードの両方で動作します。これは10nmから1ミクロンまで及ぶ特徴のサイズを支えます。ASML PAS 5500/ 350Cには高速スキャンヘッドが装備されています。これは、最大5MHzのイメージング速度で、露出の広いフィールドをスキャンします。ズームオプティクスは、イメージングに最適なスキャンスポットサイズを提供し、優れた画質を保証します。ASML PAS 5500/350Cは、強力で使いやすいソフトウェアパッケージによって制御されます。このステッパーはユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えており、複数の業界アプリケーションで優れた性能を発揮します。自動パターン認識をサポートし、最適なスループット性能を保証するプロセス・フィードバックを提供します。PAS 5500/ 350Cは、マイクロリソグラフィーアプリケーション向けの革新的で強力なウェーハステッピングツールです。最先端の技術を駆使し、優れたパターニング時間で高品質で精密なイメージングを実現します。このアセットにより、ユーザーが望む結果を簡単かつ迅速に達成できるようになります。