中古 ASML PAS 5500 / 300C #9218126 を販売中

ASML PAS 5500/300Cは、ASMLによって製造された高性能、ウェーハステッパー/スキャナ装置です。集積回路やその他のデバイスのハイエンドのフォトリソグラフィ用に設計されています。ASML PAS 5500/300Cは、優れた均一性で、広い視野にわたって高解像度のイメージングを提供します。PAS 5500/300Cは、メインターンテーブルと真空プレートを備えたベースフレームを備えたコンパクトな設計構造です。システムの外構造は環境保護を提供し、光学要素は振動を減らすために厳密に取付けられます。レンズを含む光学部品は、制御コンソール内に統合されています。光学増強ユニットを備えた4ビームチャンネルと、細かい機能分解能のためのさまざまな照明構成を備えています。最高解像度を提供するために、PAS 5500/300Cは、1。55ミクロンのレーザースポットサイズ、1。2ミクロンのビームポインティング精度、および0。5〜7。5ミクロンの範囲のオートフォーカス機を備えています。このツールは、画像フィールド全体に均一な露光を提供するための完全なスプレッドイルミネーションアセットを備えています。また、リバーステレセントリック光学モデルを使用して、均一性と再現性を向上させています。ウェーハの動きは、コンピュータ制御のステッピングベースの動作装置によって制御されます。このシステムは、従来の方法よりもウェーハに少ない力を適用し、均一性と再現性を向上させます。それはほとんどの適用のために十分である17。5mm/secまで速度を達成することができます。ウエハサイズや各種素材に対応可能です。特別な用途には、より大きな視野と列形状のオプションも提供します。また、プレートアタッチメントを内蔵し、密閉基板の直接イメージングが可能です。ASML PAS 5500/300Cは、回転可能なパターンファイル、バッチジョブキュー、パターン比較ツールなど、高スループットのパフォーマンスを提供する多くの機能を提供します。また、高精度な画像パターンを作成することができ、生産ラインの用途に適しています。全体として、ASML PAS 5500/300Cは、さまざまなフォトリソグラフィのニーズを満たすための信頼性が高く効率的なツールです。広い視野、解像度、均一性を備え、幅広い集積回路アプリケーションに適しています。さらに、ステッピングベースのモーションアセットと複数の照明構成により、高スループット性能を実現します。