中古 ASML PAS 5500 / 300C #9138482 を販売中

ASML PAS 5500/300Cは、半導体デバイスの製造に使用されるリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーであるASMLの最先端ウェハステッパーです。ASML PAS 5500/300Cは、解像度0。10ミクロンの高解像度リソグラフィを提供し、非常に小さな機能と回路を備えたトランジスタやその他のマイクロ電子デバイスを製造することができます。PAS 5500/300Cの背後にある先端技術は、202〜193ナノメートルの波長で動作する深紫色（DUV）レンズで構成され、他のステップで発生する反射のパターン効果を低減します。システムの光学系は、2つのミラーと格子からなるバイナリ設計に基づいており、ステッピングユーザーは簡単なアライメント調整で軸外収差を修正することができます。このシステムには、x、 y、 z方向の変位を0。1ナノメートルの精度まで測定する高性能アライメントセンサーも装備されており、ミスアライメントエラーを排除します。PAS 5500/300Cは信頼性と高性能のために構築されています。1時間あたり600個のウェーハを処理でき、リソグラフィ精度は+/-0。5ミクロンです。このシステムはExposis Optical Reduction （XOR）技術を使用しており、マークサイズを最大50％削減することでスループットを向上させています。また、生産性と精度を向上させるPulsarTM電子インターフェイスも組み込まれています。ASML PAS 5500/300Cは、すべての生産稼働後にメンテナンスを必要とせず、非常に費用対効果の高いソリューションです。ASML PAS 5500/300Cは、市場にある既存の半導体プロセスツールと互換性があり、お客様は最新のリソグラフィ技術をインストールしてアップグレードすることができます。このウェーハステッパーは高度な機能で設計されており、複雑な機能を備えたチップの開発に最適です。PAS 5500/300Cは、超小型機能を備えたチップの製造に最適なソリューションで、最先端のデバイスの製造に最適なツールです。