中古 ASML PAS 5500 / 300C #293802068 を販売中

ASML PAS 5500/300Cは、複雑な統合設計をマイクロプロセッサやその他の集積回路の形で正確にパターン化できるウェーハステッパーです。必要なマスクの数を減らし、より正確なパターンを定義できる高度なリソグラフィ装置です。ASML PAS 5500/300Cは、広範囲の露光のための高度な投影光学システムを採用しています。このユニットは、曲率1050mmの強力な200mm （8インチ）レンズと0。75の数値開口を使用しています。これにより、0。25マイクロメートル（0。00001インチ）の解像度で極めて詳細なイメージングが可能になります。PAS 5500/300Cはまた、ウェーハのタイプを迅速かつ簡単に変更するために使用される抵抗マガジンマシンを備えています。2。5インチから12インチまでの複数のウエハサイズをサポートできます。このツールは、剛性と精度のアライメントのための花崗岩ベース上に構築されており、イメージング精度を向上させるための油浸しスキャナが含まれています。PAS 5500/300Cは、基板をイメージング面に正確にアライメントするための高度な自動コリメーションアセットです。この精度の向上により、セットアップ時間が大幅に短縮され、コストが削減され、顧客満足度が向上します。より高い精度に加えて、ASML PAS 5500/300Cは、手動で追加の介入なしにウェーハの自動ロードとアンロードを可能にする統合ローダー/アンローダーモデルも備えています。この統合された装置は、生産プロセスを簡素化し、コストを削減します。ASML PAS 5500/300Cは、大量の高精度リソグラフィ用途に最適な堅牢なシステムです。抵抗マガジンスタイルのハンドリングやオートコリメーションユニットなどの高度な機能により、高品質の集積回路を効率的かつ信頼性の高い方法で製造できます。