中古 ASML PAS 5500 / 300B #9407670 を販売中

ASML PAS 5500/ 300Bは、半導体製造で使用される高度なウェーハステッパーです。フォトリソグラフィープロセスや高度な欠陥検査など、さまざまなタスクを実行するように構成された強力で正確なステッパーです。1時間に最大500個のウェーハの生産速度を提供し、最大300mmのサイズのウェーハに対応できます。PAS 5500/ 300Bには、スペースを最大限に活用し、プロセスを高速化する自動ウェーハ処理装置が装備されています。ステッパーには高度なフィードバックシステムも装備されており、各露出の投与量と焦点を最適化してオーバーレイ性能を向上させます。このステッパーは、高解像度のプロジェクション光学システムを採用しており、位相シフトマスクを使用してより高い解像度と速度を実現しています。このユニットは最大4倍の減速を備えており、147ナノメートルの精度を持っています。ASML PAS 5500/ 300Bは、1つのセットアップから複数の露出を取ることができます。これにより、スループットが向上し、ウェーハあたりのコストが大幅に削減されます。また、アクティブな温度制御機と、露出ごとに理想的な照明条件を確保する周囲の照明チェックツールが装備されています。このステッパーは、CAD/CAM、 SMD、 GDSソフトウェアなどの最も一般的な設計システムとも互換性があります。これにより、迅速かつスムーズなデータ転送が可能になり、生産時間の短縮に役立ちます。PAS 5500/ 300Bウェーハステッパーは、高性能で高度なステッパー資産を求めている企業にとって優れた選択肢です。これは、幅広い半導体製造アプリケーション向けの強力で柔軟かつ費用対効果の高いソリューションです。