中古 ASML PAS 5500 / 300 #9188016 を販売中

ASML PAS 5500/300は、リソグラフィ用の高精度ウェーハステッパーです。高出力の光源、精密光学素子、所定の動作パターンに沿ったステージ機器で構成される光学プロジェクションプリンタです。ウェーハステッパーは、まず、フォトレジストと呼ばれる光に敏感な素材でウェーハをコーティングすることによって機能します。その後、光源とウエハの間にコンピュータで生成されたパターンを含む大規模なマスクを配置します。光源は、ウェーハに投影されたパターンを照らします。精密ステージシステムは、マスクに関連してウェーハを移動させ、焦点と位置を微細に変更して、連続した画像が正確に転送されるようにします。このような精度は、ウェーハが連続したパターンで投影されるため、小さな回路要素を整列させるために重要です。ASM ASML PAS 5500/300の場合、運動を組み合わせる高度なPiezoを使用することで精度が保証されます。このユニットは、常にステージマシンの正確な位置と速度を微調整し、圧力コントローラや大きな移動質量に依存することなく、最高の精度を保証します。PAS 5500/300は、優れた精度に加えて、独自の二重周波数（DFL）イメージング法を備えています。この方法は、2つの完全に独立したイメージングシステムを1軸に組み合わせることで、露光時間の増加を可能にし、より効率的なフォトリソグラフィを実現します。結論として、PAS 5500/300はフォトリソグラフィ用に特別に設計された高精度ウェーハステッパーです。運動と二重周波数イメージングを組み合わせた高度なPiezoにより、ASMLは最高の精度を必要とするアプリケーションに最適です。