中古 ASML PAS 5500 / 300 #9162889 を販売中

ASML PAS 5500/300は、半導体デバイス製造に使用される高度で高精度なウェーハステッパーで、各ウェーハの表面に堆積したフォトレジスト材料に集積回路パターンや画像を露出させます。高精度ステッパーは、高度なリソグラフィ技術を使用して構築され、マスク投影、マスクペリクル、レジスト印刷などの多種多様なイメージング機能を実行することができます。ASML PAS 5500/300は、高精度の光学システムを備えており、フォトレジスト材料上のパターンや画像の正確なイメージングを可能にします。システムには、高度な投影レンズ、x-y-z可動ステージ、および高エネルギー照明源が含まれています。プロジェクションレンズは高解像度の画像を提供し、ステージはレンズの下のウェーハの正確な操作と位置決めを可能にします。照明源は、望ましいパターンや画像をウェーハに投影するように設計された高エネルギー照明器です。PAS 5500/300は、画像処理において非常に高い精度を維持するためにクリーンルーム環境で使用するように設計されています。汚染や欠陥のリスクを最小限に抑えるために、ステッパーはウェーハの動きを最小限に抑え、すべての部品を同じ平面内に保つように設計されています。これにより、希望するパターンや画像がフォトレジスト材料に正確かつ正確に露出されるようになります。PAS 5500/300は非常にユーザーフレンドリーなマシンです。コンピュータ制御のソフトウェアとハードウェアを統合することで、画像処理ジョブを迅速かつ簡単にセットアップし、一貫したパフォーマンスを維持できます。自動整列メカニズムは、手動整列を必要とせずに、あらゆるサイクルでウェーハを正確に露出させるように設計されています。ステッパーを無限に微調整することで、ウェーハ上の露出パターンや写真の精度を最大限に高めることができます。さらに、ステッパーは、一貫したパフォーマンスと生産歩留まりを確保するために、さまざまなレポート機能をユーザーに提供します。ASML PAS 5500/300は、高精度のリソグラフィ用途で一貫した信頼性の高い性能を提供するように設計されています。ステッパーは非常に正確で、正確な解像度とディテールでパターンや画像を正確に露出することができ、スケーラブルでユーザーフレンドリーです。これにより、ASML PAS 5500/300は半導体デバイス製造に最適です。