中古 ASML PAS 5500 / 300 #293817868 を販売中

ASML PAS 5500/300は、ASMLによって製造されたウェーハステッパーです。自動化された信頼性の高いプロセスで、単一のウェーハ上で精密な微小回路製品を生産できる完全なシステムです。ASML PAS 5500/300は、高度なモーションデリバリー、ステージ、光学、制御システムで構成され、高精度のウェーハ処理機能を提供します。高速・高精度に最適化されたステージ設計により、剛性と熱安定性を維持し、振動周波数が低くサーマルドリフトが少ない精密な配置精度を実現し、複数の加工工程にわたって安定した結果を提供します。PAS 5500/300は、最高レベルの機内配置精度と再現性を実現する電動精密ステージを備えています。このステージは、3つの独立したバックラッシュフリーリニアモーターシステムによって駆動され、高速かつ正確な位置決めを実現します。PAS 5500/300の光学系と投影システムは、高度な解像度と再現性を備え、鋭いプロファイルと高精度登録を実現します。また、紫外線から遠赤外線まで幅広い波長範囲を有し、様々な材料との互換性を提供します。ASML PAS 5500/300はまた、精密で信頼性の高い操作のための高度な制御システムを統合しています。これには、精密コントローラとリアルタイムの全自動測定およびフィードバック制御システムが含まれており、複雑なプロセスでも複数の手順にわたって高い再現性を実現します。結論として、ASML PAS 5500/300は、自動化された信頼性の高いプロセスで、単一のウェーハ上で微小回路を生成することができる高精度のウェーハステッパーです。精密ステージ、投影システム、リアルタイム制御システムを備えており、複数の手順にわたって高い再現性、正確性、信頼性を保証します。