中古 ASML PAS 5500 / 300 #293814115 を販売中

ASML PAS 5500/300は、集積回路製造のソリューションを提供するように設計された完全自動ウェーハステッパー装置です。このシステムは、ウェーハのアライメント、リソグラフィ、計測（測定）のためのプラットフォームを提供します。ウェーハステッパーは、厳格なサイクル時間と高精度の配置とオーバーレイ要件を備えたウェーハ上のデバイス製造用のリソグラフィを提供します。ユニットは、いくつかの主要コンポーネントを含む、リソグラフィープロセスを実行するためのハードウェアとソフトウェアコンポーネントで構成されています。まず、ステッパーは、リソグラフィーイメージングとパターニングのいくつかの段階を通してウェハを移動するように設計されています。ステッパーには、ステッパーカラム、ウェーハステージ、レンズなど、いくつかのハードウェアが含まれています。ステッピングカラムは、レンズの下でウェーハを正確に動かし、ウェーハ表面にイメージするように設計されています。ウェーハステージは、イメージングプロセス中にウェーハを所定の位置に保持するように設計されており、異なるサイズのウェーハに対して機械的に調整することができます。レンズは、ウェーハ上のさまざまなレンズの種類とパワーレベルに交換することができます。この機械の光学部品は、リソグラフィーパターンをウェーハに高精度にアライメントすることができます。パターンジェネレータは、ウェーハ表面に適用されるパターンの電子表現を生成します。光センサーは、ウェーハの表面の特徴を検出してパターンを整列させることができます。その後、レーザー光学系を使用してパターンをウェーハにエッチングします。このツールの計測ツールは、ウェーハ上でパターン化された回路を測定するためにも使用されます。これらのツールには、ウェーハ上のパターンの寸法を正確に測定できる光学スキャナが含まれます。このアセットには、イメージングとパターニングが完了した後にウェーハのイメージを提供するために、いくつかのタイプのカメラシステムも含まれています。ASML PAS 5500/300は、非常に高精度で幅広いリソグラフィー処理を実行できる汎用性の高いウェーハステッピングマシンです。産業的な観点からは、非常に高速なサイクルタイムとアライメント機能を備えた信頼性の高いプラットフォームであり、要件の厳しいオーバーレイ要件を満たしています。このモデルは、集積回路の製造に多目的なアプローチを提供し、多くの業界アプリケーションに適しています。