中古 ASML PAS 5500 / 275D #293817866 を販売中

ASML PAS 5500/ 275Dは、半導体デバイスの製造を支援するフォトリソグラフィーアプリケーションで使用される最新のウェハステッパーです。高精度のリソグラフィパターンをウェーハに書き込むことができる高効率ウェーハステッパーです。このステッパーは、高度なスキャン技術を使用して、単一のテンプレートでマスクホルダー、ウェハキャリア、光学ヘッドを同期させます。PAS 5500/ 275Dは、デジタル駆動システム、磁気軸受、高度な投影装置を使用して、レチクルホルダーの高精度な位置決めを実現するベクトルスキャンステッパーです。4軸の精密モーションコントロールにより、マスクとウエハの微調整が可能で、細かいオーバーレイ用途に適しています。このデバイスは、信頼性と堅牢性を備えたウェーハハンドリングシステムも備えています。効率的な照明ユニットを有しており、2次元フォーカシングオプティクスとバイナリ生徒機械を使用して、ウェーハを露出するためのエネルギー量を削減します。これはまた、優れた性能を提供しながら、低エネルギー消費を維持するのに役立ちます。ステッパーには、パターニングアプリケーションで高いスループットと歩留まりを実現する自動パターン認識ツールもあります。ASML PAS 5500/ 275Dは、正確で再現性のある露出プロセスを保証する高度な制御アセットを備えています。生産工程のセットアップに要する時間を短縮し、プロセスのパフォーマンスと効率を向上させます。最後に、リモート診断とリソグラフィ操作の監視のためのオンボード通信インターフェースが装備されています。全体として、PAS 5500/ 275Dは高性能で効率的なウェーハステッパーであり、信頼性と再現性の高い半導体デバイスの製造に役立ちます。堅牢な構造を持ち、高度なオートメーション、デジタル駆動システム、光学機器により、消費電力を最小限に抑えた高解像度画像を実現します。さらに、リモートコミュニケーションインターフェイスにより、ユーザーはリソグラフィ操作を監視し、必要に応じてパラメータを調整することができます。