中古 ASML PAS 5500 / 250C #9265786 を販売中

ASML PAS 5500/ 250Cは、半導体業界でシリコンウェーハ上で微細な電子部品を製造するために使用されるウェーハステッパーです。この機器の技術仕様は、最大フィールドサイズから始まり、最近のバージョンでは直径250mmの光場が提供されています。さらに、その光学系は、解像度が0。3ミクロンまでのカットオフスキャナとステップアンドリピート光学の両方をサポートするように構成することができます。PAS 5500/ 250Cステッパーには、1つまたは2つのフルフローティングフラットテーブルステージと7軸モーションコントロールシステムが含まれています。フラットテーブルステージは、ダイダイ加工のための優れたアライメントと位置決め精度を提供し、モーションコントロールユニットはX、 Y、 Zの高速かつ正確な動きを可能にします。ステッパーの照明装置は、レーザー露光ツールと高度なi-Line光学装置の両方を備えています。レーザー露出アセットは、レーザーマスクとダイレクトレーザーライティング（DLW）技術の両方をサポートするために使用でき、13。56 MHz 25ワットArF（原子フッ素）ソースと3軸モーションコントロールモデルを備えています。i-Line光学は0。6および0。8ミクロンの動作をサポートし、最大8インチの基板サイズで、短時間で大きなウェハサイズを露出することができます。この光学系は、光学系を機械的に変更することなく、スキャンモードと直交線形モードを切り替えるオプションを提供します。ASML PAS 5500/ 250Cには、インサイトメトロロジー、コンタクトアライメント、プリアライメントモジュール用のモジュールを備えたモジュラーオプション構造も含まれています。また、Windowsベースのプラットフォームを備えており、すべてのセットアップ、操作、メンテナンス活動に対応しています。これにより、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、セカンダリオートメーション専用の統合ツールを使用できます。PAS 5500/ 250Cは、半導体企業にさまざまな産業プロセスに精密パターニングとイメージング機能を提供するために設計された先進的なシステムです。最先端の機能と機能を備え、様々な電子機器の高精度な部品を製造することができます。