中古 ASML PAS 5500 / 250C #9209713 を販売中
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販売された
ID: 9209713
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
I-Line stepper, 8"
Reticle, 6"
(4) Elevators
2002 vintage.
ASML PAS 5500/ 250Cウェーハステッパーは、ASML製の高度なリソグラフィーステッパーです。それはさまざまな電子適用のための半導体の生産で使用されます。半導体部品を製造するために、感光材料の層をシリコンウェーハ上にイメージングすることが可能です。PAS 5500/ 250Cは、光学系と露光方式を組み合わせてウェーハにパターンを転送します。この光学系は、高解像度の画像を高精度で転送することを可能にする高数開口システムで構成されています。露出方法により、ウェーハのさまざまな領域にさまざまなエネルギーレベルを適用して、目的のパターンを作成できます。ASML PAS 5500/ 250Cは、他のイメージングシステムと統合し、正確で正確な多層イメージングを保証するためにアライメントすることもできます。この機械は0。25ミクロンの誤差率と非常に精密です。さらに、0。06ミクロンという小さいパターンを撮影することができます。操作の容易さはPAS 5500/ 250Cの設計の重要な要因でもあります。この機械は速く、容易な組み立ておよび操作を可能にするさまざまなオートメーションシステムと互換性があります。セットアップと操作もCADソフトウェアによって支援され、ウェーハへのパターンのプログラミングが可能になります。全体として、ASML PAS 5500/ 250Cは、半導体産業におけるリソグラフィ用の信頼性と精度の高い機械です。光学と露光法の組み合わせにより、高精度な高解像度パターンが作成され、さまざまなオートメーションシステムとCADプログラムにより、機械のプログラムと操作が容易になります。
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