中古 ASML PAS 5500 / 250C #293811101 を販売中

ASML PAS 5500/ 250Cは、高度な半導体アプリケーション向けに設計された高度なプロフェッショナルグレードのウェーハステッパーです。それは集積回路および他の関連のマイクロエレクトロニクス装置の生産で使用されます。この機器は、メインフレーム、デチャッカー、チャッカー、コンピューター制御ユニット、光学アライメントシステム、ウェーハ処理装置、モーターおよびドライブなど、多くのコンポーネントで構成されています。メインフレームはユニット全体の制御を担当し、デチャッカーとチャッカー、ウェーハハンドリングロボットはウェーハトランスファーを処理します。コンピュータコントロールユニットは、各マシンコンポーネントにコマンドを送信し、ウェハローディング/アンロード、ツールチューニング、およびキャリブレーションのためのデータを維持する責任があります。オプティカルアライメントアセットは、ウェーハの位置を精度と精度で測定するために使用され、アライメント用の電動ステージ、2つのレーザー干渉計、ミスアライメントを測定するためのデジタル信号プロセッサ（DSP）、およびモニターで構成されています。ウェーハハンドリング装置は、エレベーター、XY変換ステージ、カセットリフトで構成され、ウェーハをウェーハステージに正確に配置するのに役立ちます。モータとドライブは、アライメントモータ、メインフレーム部品、およびウェーハハンドリングロボットに正確な動きを提供する責任があります。このモデルは、21mmのウェーハ移動能力を備えた50mmの視野、7nmの配置精度、0。2 μ mの位置合わせ精度など、さまざまな機能を備えています。また、1分間に最大12個のウェーハを搭載し、300mmおよび200mmのウェーハサイズに対応できます。PAS 5500/ 250Cは、バッチ環境と連続生産環境の両方で作業でき、歩留まりと効率の向上、高速スループット、信頼性の高い操作など、従来のウェーハステッパーよりも多くの利点を提供します。数多くの自動および半自動機能を提供することにより、大量生産に適しており、プロセスがタイムリーかつ最高品質の結果で完了することを保証します。