中古 ASML PAS 5500 / 250C #293810531 を販売中

ASML PAS 5500/ 250Cは、半導体フォトリソグラフィ業界で広く使用されている高性能ウェーハステッパーです。PAS 5500/ 250Cは、ウエハ基板上にレジストマスクの層をステップします。高精度で幾何学的なパターンを繰り返すことができる先進的なレーザー投影装置により、希望するパターンをウェーハ基板に精密にエッチングすることができます。ASML PAS 5500/ 250Cは、ステージ、レーザー、マスク、ステージなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。ステージは露出プロセス中にウェーハをサポートする大きなプラットフォームです。レジストマスクの正確な露出を可能にするために必要な安定性を提供します。レーザーは必要なパターンパターンを作り出すことができる高性能ダイオードレーザーです。マスクは、希望するパターンデザインを含む金属シートのセットであり、それらをウェーハに投影するために使用されます。ステージは、露出中のマスクの配置と位置を制御するためのコンポーネントです。PAS 5500/ 250Cにはいくつかの機能があり、産業規模のフォトリソグラフィープロセスに最適です。このシステムは露出時間を管理することができ、異なる深さと可変的な露出で正確な露出を可能にします。レーザーの強度と波長を正確に制御することができ、光学的損傷やぼかしを最小限に抑えることができます。さらに、このユニットには、マスクを露出ごとに適切な位置に正確に変換できる精密フォーカスアクチュエータが含まれています。ASML PAS 5500/ 250Cは、高度な技術とよく設計されたコンポーネントのおかげで、フォトリソグラフィ用の信頼性と信頼性の高いツールです。柔軟な設計により、さまざまなプロセスを実装することができ、精度と効率が高いため、高スループットのアプリケーションに最適です。機械にまた低い維持費があり、使いやすいです。これにより、産業用フォトリソグラフィープロセスにとって魅力的な選択肢となります。