中古 ASML PAS 5500 / 250 #9166553 を販売中
この商品は既に販売済みのようです。下記の同じようなプロダクトを点検するか、または私達に連絡すれば私達のベテランのチームはあなたのためのそれを見つけます。
タップしてズーム
販売された
ID: 9166553
ウェーハサイズ: 8"
i-Line stepper, 8"
ARMS Option
Image field size:
X: 22.0 mm
Y: 22.0 mm
Diameter: 31.1 mm
Steps:
X: 11
Y: 11
Measurement type: Sample mode
Lamp power (W): 3150.0
Samples per position: 50
Apply REMA window: Yes
Load reticle: N
Illumination mode: Annular
Numerical aperture: 0.58
Sigma outer: 0.800
Inner: 0.450
Uniformity measurement result:
Uniformity (%): 1.79
Logfile: LI / LIUM / waf.941
(121) Measurements
Tilt:
X (% / field): 0.74
Y (% / field): -0.18
Overall average:
Ratio: 1.00
Standard deviation: 0.01
Intensities spot sensor (mW / cm2): 1706.65
Standard deviation: 12.48
Intensities energy sensor (mW / cm2): 1706.75
Standard deviation: 5.10
Lamp time lit (hour): 1866:42
Estimated uniformity from measured data (%):
If corrected:
Actual tilts: 1.78
Gradient filter: 1.54
Tilts and with gradientfilter: 1.26
Symmetric uniformity value (%): -0.52
Currently installed.
ASML PAS 5500/250は、半導体デバイス製造における生産レベルのリソグラフィ作業用に設計された洗練されたウェハステッパーです。NGS（次世代スキャン）装置で、0。25ミクロンの解像度で1時間に最大25個のウェーハを処理できます。このウェーハステッパーは、クラス最高レベルのスループットと解像度を提供します。システムの中心には、8チャンネルのマルチスキャナ構成を採用した高度なスキャンレンズアセンブリがあります。このセットアップにより、他のステッパーよりもはるかに高いスループットが可能になり、生産速度を最大化するメーカーにとって理想的な選択肢となります。レンズは0。25ミクロンの最小分解能を提供します。これは、高度な半導体デバイスの製造における多くのリソグラフィ処理に必要です。また、Advanced Dispersive Optics （Advanced Dispersive Optics、 ADO）というユニークな機能も搭載しています。複数のレンズとミラーを組み合わせて画像解像度を向上させる技術です。この技術は、異常を排除し、解像度を向上させるのに役立ち、ステッパーはその高いプロフェッショナルレベルの精度を維持することができます。さらに、ASML PAS 5500/250にはさまざまなサポート機能があります。例えば、ウェーハの高精度なアライメントを確保するために、自動ウェーハローディングマシンとさまざまな機能を備えています。また、レンズとコンポーネントの最大の効率と寿命のための統合冷却ツールを備えています。ステッパーには、操作とプログラミングを簡素化する包括的なGUI（グラフィカルユーザーインターフェイス）も装備されています。これにより、初心者が素早く資産に慣れることが容易になり、複雑なリソグラフィ作業を簡単に行うことができます。PAS 5500/250はパワフルで信頼性の高いウェーハステッパーであり、メーカーに最高レベルのスループットと解像度を提供します。ADO技術と包括的なサポート機能により、高精度のリソグラフィ用途に最適です。
まだレビューはありません