中古 ASML PAS 5500 / 250 #293817869 を販売中

ASML PAS 5500/250は、オランダのAdvanced Semiconductor Materials Litechnology （ASML）によって構築されたフルフィールドステップ&リピートリソグラフィースキャナです。半導体集積回路やその他のマイクロ電子デバイスの製造に使用されています。ステッパーは、絶縁構造、長寿命かつ高精度の光学アセンブリ、およびコンピュータ制御装置で構成されています。絶縁された構造は、環境から振動を隔離し、マスクからウェーハへの光学系のアライメントと位置が正確であることを保証します。光学アセンブリには、ロボットウェーハとマスクハンドリングモジュール、プレセッションエンコーダ付きミラー3個、レンズ数個、ビーム偏向用ガルバノメータスキャナ2個、デジタルイメージストレッチユニット2個が含まれています。最小レンズ許容角が5度の複合光学系は、ICパターンとオーバーレイ機能の両方に0。25ミクロンの分解能を備えています。制御ユニットは、ステッパー機能を制御、監視、および記録するように設計されています。これは、プロセス状態を示す色分けされたベゼル、高レベル機能メニュー、および色分けされたキーパッドを備えたグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）で構成されています。また、自動距離制御（ADC）ツールを搭載しており、必要に応じて画像認識アルゴリズムを使用してマスクとウェーハの距離を調整します。ASML PAS 5500/250ステッパーは、最大8インチ（200mm）の基板を処理でき、スループットは1時間あたり395ウェーハまでです。また、コーター/デベロッパー内蔵、ロードロックチャンバー、ウェハ洗浄/測定設備など、プロセス性能とスループットの両方を高めることができる幅広いオプションも用意されています。要約すると、PAS 5500/250は、集積回路やその他のマイクロ電子デバイスの製造に使用されるフルフィールドステップアンドリピートリソグラフィースキャナです。絶縁構造、高精度の光学アセンブリ、コンピュータ制御アセットを備えており、パターニングとアライメントプロセスの所望の精度を保証します。ステッパーは、最大8インチの基板を処理することも可能で、スループットは毎時395ウェーハまでです。