中古 ASML PAS 5500 / 200B #293804503 を販売中

ASML PAS 5500/ 200Bは、ステッパートラックリソグラフィ装置としても知られるウェハステッパーの一種です。フォトリソグラフィ施設で使用され、半導体産業の集積回路用の回路を作成します。このシステムは、ウェーハ表面にパターンを配置する光とマスクを組み合わせて実現します。PAS 5500/ 200Bは、ステッピングサイズが2m×1。5mで、直径200mmまでのウェーハを踏むことができ、x方向とy方向で1。2 μ mの登録精度を実現しています。246〜1064 nmの光子エネルギーを持つ高解像度のブロードバンド照明と16倍の光学ズームを使用しています。このユニットは、0。45から1。35までのさまざまな数値開口を提供することができます。この範囲では、150 nmから30 μ mの精度範囲でさまざまな機能サイズとオーバースキャン機能を作成でき、焦点深度はそれぞれ8 μ mから28 μ mの範囲です。ASML PAS 5500/ 200Bは、カラムを同期させ、高解像度のパターン印刷を可能にする3軸クローズドループ制御機を使用しています。その2つの速度電動軸は精密ボールスクリューによって駆動され、高速かつ信頼性の高い方法で高い位置決め精度を提供することができます。このツールは、高解像度、位置フィードバック資産、およびクローズドループ、湿度制御機能も備えています。このモデルは、積極的なオーバーレイ制御と高速スループットを可能にし、量産サイクルを加速します。内蔵のSoftRecipeソフトウェアは、操作とメンテナンスを簡単に行うためのユーザーフレンドリーで直感的なユーザーインターフェイスを提供します。さらに、グラフィカルな機能だけでなく、高度な統計的および幾何学的な解析機能も提供します。最後に、PAS 5500/ 200Bには包括的な標準安全プロトコルが組み込まれており、安全関連イベントのリスクを最小限に抑えることができます。各コンポーネントは、最新の安全制御メカニズムを備えた最新の安全インターロックを備え、業界最高の安全基準に従って設計およびテストされています。このような高度な安全機能を備えたASML PAS 5500/ 200Bは、信頼性と高効率のウェーハステッパトラックリソグラフィ装置です。