中古 ASML PAS 5500 / 200 #9095592 を販売中

ASML PAS 5500/200は、広い視野と高度なイメージングとピクセルレベルのアライメント精度を兼ね備えたハイエンドウェーハステッパーです。このステッパーは、高解像度イメージングと強化されたプロセス性能を提供し、半導体製造アプリケーションに最適です。ASML PAS 5500/200の全視野は43 mmで、幅広い基板イメージングを提供します。ステッパーの最大分解能は5。6ミクロンで、高精度の線幅分解能は1。5ミクロンです。さらに、PAS5500/200は、エッジオーバーラップで21nmレベルの精度で高度なピクセルレベルのアライメント精度を提供します。これにより、プロセスの再現性を最大限に高めることができます。ステッパーには、洗練された繊細な半導体製造プロセスに最適なさまざまな機能と制御が付属しています。PAS 5500/200では、Y軸スキャンにより小さなパターンをスキャンすることができ、パターン作成時の特徴サイズと位置の精度を最大限に高めています。ステッパーはまた、正確で均一でない線量分布のための可変線量モードを備えており、総被ばく線量とエネルギー消費を削減します。ステッパーは耐久の空気軸受けフレームおよび走査器の頭部と造られ、最高のシステム安定性を提供し、また動きの正確さを最大にする対称の設計と来ます。ASML PAS5500/200には、強力なアプリケーション制御、さまざまなユーザーインターフェイスのサポート、光学システムパラメータの手動制御を提供する強力なホストコンピュータも含まれています。全体として、PAS 5500/200ウェハステッパーは、精密半導体製造アプリケーション向けの高度でハイエンドなイメージングおよびアライメントソリューションです。高品質のイメージング機能、強化されたプロセス性能、および統合された制御システムにより、ユーザーは効率的で正確なパフォーマンスを楽しむことができます。