中古 ASML PAS 5500 / 200 #293817870 を販売中

ASML PAS 5500/200はオランダの技術会社ASMLによって製造された最高級のウェーハステッパーです。主に半導体・集積回路メーカーがフォトリソグラフィの過程で使用し、シリコンウェーハなどの基板に光パターンを投影して精密なモチーフをナノメータスケールまで再現します。ステッパーは、ウェーハ上の電装品を7秒以内にラインアップ、露出、検査することができます。システム精度は0。4マイクロメートルで、開口数は0。7です。このマシンは、明るく調整可能なソーススペクトルを254から365nmに、0。1から2500 mj/cm2までの選択可能な線量と0。2から500 msの露出時間を備えています。ASML PAS 5500/200は、2つの外部振動ダンパーを備えているため、複雑な光学デバイスや高速レチクルおよびウェーハステージに適しています。最大200mmまでのウェーハに対応可能です。PAS5500/200には、オペレータの作業時間を短縮し、ワークフロー結果を改善するために設計された自動制御システムが装備されています。このシステムは、画像の歪みなどの誤差を自動的に補正することができ、2ミクロンの単層アライメント精度と1ミクロンの多層アライメント精度、および-10〜50°Cの温度制御が可能です。運用の観点からは、ステッパーは非常にユーザーフレンドリーであり、適切に操作するには最低限の技術的知識が必要です。タッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイス、コンピュータ化されたジョブセットアップパラメータ、簡単にアクセスできる幅広い診断データを備えています。全体として、ASML PAS5500/200は、半導体および集積回路メーカーに安全で正確で費用対効果の高いフォトリソグラフィーソリューションを提供する、高い評価と信頼性の高いウェハステッパーです。機械のユーザーフレンドリーなインターフェース、印象的な精度、優れたモーションコントロール機能により、今後もこのような企業の生産ライン内で必要不可欠な機器を維持することができます。