中古 ASML PAS 5500 / 20 #293817873 を販売中

ASML PAS 5500/20ウェハステッパーは、高度な光学設計とイメージング解像度によって差別化された高品質のフォトリソグラフィープロセスを提供する、半導体製造のための貴重なツールです。このステッパーは20インチのダイヤフラムの大きい分野と設計され、0。5 mm²から200 mm²まで及ぶ露出区域の構造を作り出し、点検することができます。このステッパーは、0。2ミクロン（µm）のアライメント精度を持つ2500 x 2500ハーフピッチライン/スペース（HPL/S）と、250 mm x 200 mmに拡張できる総画像範囲を備えています。PAS 5500/20は、白熱ランプとハイコントラスト投影光学を使用した5倍のリダクションおよびリソグラフィーシステムで設計されており、最大5倍の4mmウェーハを全体的に低減し、0。8mmの画像フィールドサイズを実現しています。カスタマイズされたレンズ、スペクトルフィルター、オートメーションソフトウェアなど、さまざまなオプションをステッパーに追加できます。ステッパーの精度を高め、各パターンピンの精度を高めるために、異なるピンを個別に調整できるミックスとマッチング技術で設計されています。ASML PAS 5500/20には、均一な照明を提供するように設計された高度な照明システムがあり、平均スループット速度は毎時100ウェハです。また、ウェーハと構造を簡単かつ迅速にアライメントし、さらに精度を高めるアライメント機能も内蔵しています。ステッパーは、ウェーハのほぼ瞬時の特性評価と、異常または点滴スケール障害の迅速な識別を可能にするin situ測定機能を備えています。高さわずか138cm、全幅約92cm×長さ101cmの半導体クリーンルームへの設置が容易なコンパクト設計です。PAS 5500/20は、効率的な冷却システム、メンテナンス要件の低さ、および環境への負荷の低さにより、半導体業界で重要なフォトリソグラフィープロセスを実行するための理想的なツールです。