中古 ASML PAS 5500 / 1100 #293668650 を販売中

ASML PAS 5500/1100は、ウェーハ上の集積回路の製造に使用されるウェーハステッパー装置です。ステッピングシステムは、アライメント顕微鏡、投影光学、アドバンストステッピングモジュール（ASM）で構成されています。アライメント顕微鏡は、フォトマスクとウェハを正確に整列させる高分解能の特殊光学顕微鏡です。プロジェクションオプティクスは、ウェーハ上のフォトマスクの高解像度イメージングを提供し、リソグラフィ処理のための非常に正確な機能のアライメントを可能にします。ASMは、フォトマスクとウェーハの両方を保持するステージの動きを細かく制御し、ウェーハ上に所望のパターンを作成する責任があります。ASML PAS 5500/1100は、ASM、顕微鏡、投影光学モジュールを共有しながら、最大12種類のプロセスモジュールを柔軟にレイアウトできるように設計されています。ステッピングユニットは、スキャンモード時にスキャンとアライメント機能を分離するためにデュアルコラム構成を使用して、ステップ操作とスキャン操作の両方で操作できます。このツールにはXYステージがあり、ステッピングヘッドが互いに相対的にフォトマスクとウェーハを動かして正確に配置することができます。ASMは、XY平面の高精度な動きと、幅広いウェーハのリソグラフィ要件を満たすためのフォーカス調整のためのクローズドループ制御を提供します。このアセットは、各モジュールに対して独立したクローズドループ制御を持つように設計されているため、高精度なセットアップと生産中の各モジュールの最大安定化を可能にします。ステッパーは、ウェーハ上の多数のパターンをサポートできる広い視野を持ち、ウェーハステージは、高度なプロセスをサポートするために低kVと振動のないように設計されています。PAS 5500/1100は、優れた性能、精度、信頼性を提供します。このモデルは、プログラム可能なステップサイズを持ち、XおよびYで最大6,000 μ mまでステップアップでき、露出精度は+/-1。5 μ mです。また、39nmの解像度、電力効率の高い動作、サイクルタイムの向上を備えた高品質のイメージングを提供します。これらの機能に加えて、ウェーハステッパー装置は、温度、相対湿度、振動センサなどの統合センサ、およびさまざまなカメラシステムの堅牢なネットワークを備えており、環境を監視し、最適なサイクル温度と湿度を維持するのに役立ちます。このシステムは、リソグラフィ処理中に常に監視され、プロセスの継続的な最適化を可能にします。最後に、PAS 5500/1100は、高度な自動化および制御ツールをエンジニアに提供し、プロセスを最適化し、最高品質の基準を達成します。