中古 ASML PAS 5500 / 1100 #293655010 を販売中

ASML PAS 5500/1100は、半導体デバイス製造のためのモーションコントロールおよび計測ツールです。これは、プロセスごとに1基板ステップアンドリピートリソグラフィーシステムを備えた生産クラスのステップアンドスキャンツールです。PAS 5500/1100は、エネルギー出力135Wのクォーツハロゲンランプを採用し、ウェーハに印刷します。ランプは紫外線（UV）範囲で動作し、最適なリソグラフィ機能を提供します。ウェーハはリニアガルバノモータを使用してスキャンされます。これは非常に高精度で、基板上に正確で一貫した印刷パターンを提供します。印刷されたパターンがデザインに忠実であることを確認するために、PAS 5500/1100には、確立された基準から印刷されたパターンの偏差を測定するレーザー干渉計も装備されています。また、PAS 5500/1100は特殊なアライメント機能を備えており、さまざまなウエハータイプのパターンを正確に調整できます。これは、コントラストイメージング、焦点減衰とサイドウォール角度の決定の組み合わせによって可能になります。パターンオーバーラップは、測定とアライメントの両方のためのフィデューシャル基準点として機能するアライメントマークの使用によってさらに強化されます。強度測定、コントラストイメージング、フィデューシャルは、すべてアラインメント中に連続的にチェックされます。超高速スループットを備えたPAS 5500/1100は、高度なプロセス制御に理想的なプラットフォームを提供します。このシステムは、プロセスステップが完了するずっと前に、プロセスバリエーションと出力警告信号を検出することができます。これにより、不適合ウエハが生成される前に、エンジニアは是正措置を講じることができます。最後に、PAS 5500/1100は、低い総所有コストを念頭に置いて設計されています。これは、プロセス工程間のオーバーヘッド時間を削減し、メンテナンス作業の数を削減し、ウェーハステッパーを介して基板の転送時間を最適化することによって実現されます。PAS 5500/1100は、小型、高精度、ノンストップ動作と組み合わせることで、大量の半導体デバイスの生産に最適なソリューションです。