中古 ASML PAS 5500 / 100D #9075820 を販売中

ASML PAS 5500/ 100Dは、半導体、フォトニクス、およびマイクロエレクトロニクス製造の生産用に設計された最先端のステップおよびリピートウェハステッパーです。この装置は直径8インチのウェーハの効果的なフィールドエリアを誇り、最小の電子部品でも一貫した生産が可能です。ASML PAS 5500/100Dは、高度な0。6および0。75ミクロンのアップグレードを採用しており、業界をリードする解像度とオーバーレイエラーの5倍の削減を可能にします。この信頼性の高いステッパーは、精度と再現性を確保するためのユニークなボトムコンテインメントクローズドループアーキテクチャを含む、最新の精密ムーブメントコンポーネントを備えています。PAS 5500/100 Dには、デジタル慣性（DI）センサ、傾斜補正速度センサ（TCV）、およびXY速度センサからなる独自のセンサアセンブリがあり、プロセスを正確かつ自動的に制御できます。ASML PAS 5500/100 Dは、高度なヘリウムネオン（HeNe）レーザーシステムを使用しています。これにより、完全に自動化されたウェハからリチクルパターンの登録と正確なパターン露出が可能になります。HeNeレーザーユニットは、個々のユーザーのニーズに合わせて効率的で適応可能であり、ユーザーはレーザー露光量、スキャン速度、レーザー強度、およびスキャンエリアを希望の仕様に調整できます。このマシンには、ユーザーエクスペリエンスをさらに強化するためのソフトウェアアップグレードも含まれています。画像処理アルゴリズムは、登録マークを正確に定義し、かつてない精度でユニークな機能を正確に特定します。このソフトウェアには、サイクルタイムを改善し、コーティングエラーを防ぐために設計された強力なオートメーションツールも装備されています。特許取得済みのAX+シリーズステッパーは、PAS 5500/ 100Dを組み込んでおり、高度なオーバーレイと画像歪み補正機構を採用しています。この特許取得済みの技術により、ウェーハへの露出が一貫して正確であることが保証されます。PAS 5500/100Dは、半導体、フォトニクス、マイクロエレクトロニクス産業における大量生産に最適なステッパーです。HeNeレーザーツール、特許技術、強力なソフトウェアのおかげで、この資産は比類のない精度と再現性で結果を生み出します。