中古 ASML PAS 5500 / 100D #9045382 を販売中

ASML PAS 5500/ 100Dは、高度なウェーハステッパー製造装置です。この高精度な機械は、マイクロチップウェーハの表面に複雑なパターンをエッチングするために使用されます。超高精度のミラー光学機器を使用して、光ビームを伝搬してパターンを基板にエッチングします。この装置は、一貫した精度と生産率により、生産設備の「働き方」と考えられています。ASML PAS 5500/100Dの中心は、4つのアーク型ミラーを収納した曲面ミラーを含むスキャナーです。これらのミラーは「ファセットミラー」と呼ばれ、光学システムが単一のポイントソースから複雑なパターンをスキャンすることを可能にします。光学ユニットは水平と垂直の両方をスキャンでき、375mm/secの速度で移動できます。光学機械はまた正確で、精密なパターン複製を保障する温度制御されます。PAS 5500/100 Dは、ユーザーが3つの方法でマシンを制御できる独自のソフトウェアと対話するように設計されています。1つ目はリアルタイムモードで、オペレータは露光時間、エネルギー、パターンの複雑さなど、一般変数と特定変数の両方を選択して設定できます。2つ目は、複数のウェーハを一度に処理できる「一括」モード、3つ目は複数のジョブを同時に処理できる「一括」モードです。PAS 5500/100Dにはインラインメトロロジーツールがあり、エッチングパターンの精度を確認できます。このアセットは、エッチングプロセスと同じ光学モデルを使用して、材料上のパターンをイメージし、発見された場合の差異を決定します。PAS 5500/ 100Dの他にも、真空ウェーハハンドリングシステム、LEDソース、高電圧電源、高密度テープ自動接合装置などがあり、非常に微細なラインと小さな機能を備えた最新のウェーハの生産を可能にします。要約すると、ASML PAS 5500/100 Dは、マイクロチップウェーハの製造に使用される非常に高度で精密なウェーハステッピングマシンです。高精度で温度調節された光学機器により、複雑なパターンを1点から非常に高い精度でスキャンすることができます。また、多くのインラインメトロロジーシステムを使用して、エッチングパターンと真空ウエハハンドリングシステムの精度をダブルチェックし、効率を高めています。堅牢で信頼性の高い設計のASML PAS 5500/ 100Dは、あらゆるウエハ製造施設において非常に貴重なツールです。