中古 ASML PAS 5500 / 100D #293656526 を販売中

ASML PAS 5500/ 100Dは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスを製造することができる高精度、高解像度のウェーハステッパーです。極端な環境のために非常に小さな部品を製造することができるため、ナノテクノロジーの最先端のツールを表しています。ASML PAS 5500/100Dは、その優れた性能を可能にする強力で信頼性の高いキネマティックおよびポジショニングプラットフォーム上に構築されています。4kW照明源により、光学機器は解像度、精度、スループットを最大化します。PAS 5500/100 Dには4つの軸の動きがあり、スキャン、フォーカス、および極端な精度で整列することができます。そのモーターを備えたキネマティックシステムは、複数のプラテンのアライメントを通して精度を保証します。電動ポジショナーは、計測機能の広い範囲を提供し、その光学ユニットは、回折および収差補正、および収差除去を行います。PAS 5500/ 100Dは、マイクロプロセッサやその他の集積回路など、非常に小さなチップの製造に役立ちます。分解能は0。5ミクロン（0。1ミクロンまで）を超えており、高度な集積回路を最高のディテールで製造することができます。レジスタモードでは、マシンはウェーハ登録が数ミクロン以内で正確であることを保証します。PAS 5500/100Dは、1回の露光で複数のフォトマスクを生成することができ、プロセスをより効率的にします。また、トラック上の光学機器も含まれており、マシンの再配置に要する時間を短縮し、移動するたびに同じピクセルサイズに戻ることができます。さらに、このツールは、発熱を低減し、効率的な冷却を容易にするように設計されています。ASML PAS 5500/100 Dに完全な操作を保障するために変数を監視する自己診断資産があります。このモデルには、ウェーハステッパーの性能をリアルタイムで評価するために機械に指標を提供するように設計されたインテリジェントセンサのネットワークが含まれています。また、フルオートメーション機能も備えており、ユーザーは自分のワークフローに合わせてマシンをカスタマイズすることができます。優れた性能に加えて、ASML PAS 5500/ 100Dもメンテナンスサポートを提供しており、信頼性が高く、安全で使いやすいです。寸法精度と再現性により、極端な条件下でも精度と信頼性を提供します。その高度な技術の組み合わせは、複雑なナノテクノロジーのアプリケーションに最適です。