中古 ASML PAS 5500 / 100C #293822312 を販売中

ASML PAS 5500/100Cは、高精度フォトリソグラフィとイメージングプロセスが可能なウェーハステッパー機です。半導体、光電子デバイス、その他のイメージング材料の製造用に設計されたステップ&リピートパターン製造装置です。このシステムは、ウェーハにパターンを投影するレンズ要素の固定セットの下でウェーハを移動するために非常に正確なステージを使用します。パターンは通常、コンピュータプログラムによって定義されます。ASML PAS5500/100Cは、高度な光学ユニットを備えたウェーハステッパーです。これは、合計8つのレンズと2つの高い数値開口レンズを内蔵しています。最初のレンズはフィールドレンズとして機能し、他の7つのレンズはイメージングレンズとして機能します。イメージングの目的は、7つのDLAP（回折レーザー高度パターニング）非球面レンズで構成されており、機械が優れた正確性と最小スポットサイズを1ミクロン達成することができます。PAS 5500/100Cはコンピュータ数値制御（CNC）を備えており、ウェーハ表面のパターンを正確に繰り返すことができます。このツールには2つの電動ステージがあり、x、 y、 z軸での移動を可能にします。CNCには多軸モーションコントローラと高精度フィードバック制御アセットが装備されており、より高い精度と再現性を実現しています。PAS5500/100Cには、定義済みのパターンのライブラリが付属しており、さまざまな材料を素早く簡単に処理できます。また、画像処理ソフトウェアがあり、ユーザーが提供したデータに基づいて画像を完全にカスタマイズできます。このソフトウェアはまた、モデルが以前のジョブを保存してリコールすることを可能にし、注文の処理を高速化します。ASML PAS 5500/100Cは、1ミクロンから750ミクロン以上のサイズのパターンを生成することができます。高解像度機能により、可能な限り最高のアスペクト比を実現し、正確で正確なイメージングを可能にします。この装置の精度は、独自のアライメントソフトウェアによってさらに向上しています。このソフトウェアは、最大の効率のためにウェーハにレチクルを自動的に配置します。ASML PAS5500/100Cは、最高の精度と最高品質のイメージングポテンシャルを提供する高度なイメージングシステムです。それは速く、費用効果が大きい生産を提供する密集した、信頼できる単位です。このマシンは拡張性が高く、大量生産や幅広い用途に最適です。このマシンはまた、最も困難なアプリケーションに最適な最高の解像度と精度を提供します。