中古 ASML PAS 5500 / 100C #293817877 を販売中

ASML PAS 5500/100Cは、半導体チップの製造に使用するために設計されたウェーハステッパーまたはフォトリソグラフィックマシンです。その機能と機能は、さまざまな高度な加工および製造ニーズに最適なソリューションです。ASML PAS5500/100Cは、露出とアライメントの両方に優れた精度と精度を提供するステップアンドスキャン装置で、高複雑度の製品を迅速かつ高い再現性で製造できます。システムは、毎秒3メートルまでの速度に達することができ、12ナノメートルの解像度に集中することができるカスタムデザインのレンズが装備されています。さらに、このユニットは最大300ミリメートルのフィールドサイズで40ミリジュールまでの露出線量が可能です。PAS 5500/100Cは、シングルモジュールモードまたは全自動マシンとして動作できます。シングルモジュールモードでは、プロセス全体を正確に制御でき、必要に応じて素早く変更や調整を行うことができます。自動化されたツールは、希望する製品の設計に基づいて、単一のエクスポージャーまたは複数のエクスポージャーを実行するようにプログラムすることができます。PAS5500/100Cはマルチチャンネルビジョンアセットと、画像認識とデジタルアライメントが可能な独自のデュアルガントリー構造を備えています。これにより、製品の各層を正確に整列させることができ、高い再現性と高速で信頼性の高いバッチ処理が可能になります。ASML PAS 5500/100Cの機能を活用するために、ASML FTHフロントエンドツールを含むさまざまなオプションを使用して機器を構成することができます。これは、ASML PAS5500/100Cとバックエンドツールとの間のインタフェース、データ分析、監視、制御のための高度なソフトウェアパッケージを提供します。PAS 5500/100Cは精密で信頼できる生産結果を提供するように設計されている非常に洗練されたシステムです。先進的な機能とカスタムデザインのレンズにより、さまざまな先進的な半導体製造ニーズに最適です。