中古 ASML PAS 5500 / 100C #293804502 を販売中

ASML PAS 5500/100Cは、集積回路の製造用に設計された高度なウェーハステッパーです。このウェーハステッパーは高いスループットと精度を持ち、高品質の半導体デバイスを製造することができます。1時間あたり21,000ダイまでの処理が可能で、25mmから200mmまでの幅広いウエハサイズに対応できます。ASML PAS5500/100Cは5つの主要な部品から成っています。1つ目は、望ましい回路パターンを保持するフォトマスクを保持する精密装置であるレチクルステージです。2つ目はウェーハとスキャナーアセンブリで、ウェーハとフォトマスクを正確かつ単方向の速度で互いに移動させるロボットアームです。3つ目のコンポーネントは、多数のレンズとミラーで構成された投影装置で、イメージを正確なパターンでウェーハに投影します。4番目のコンポーネントは、マシンビジョンユニットを使用してパターンを目的の座標に検出および整列させるアライメントシステムです。最後に、5番目のコンポーネントは、目的のパターンを作成するために画像データを処理する計算機です。PAS 5500/100Cには、パフォーマンスを向上させるためのいくつかの機能が装備されています。これらの機能には、高解像度イメージングツール、高速、低ノイズスキャンアセット、高精度アライメントモデルが含まれます。ウェハステージは、オートキャリブレーション装置を内蔵し、高速でもマイクロレベルの精度を維持することができます。高度な光学系と高度なコンピューティングシステムにより、スループットの向上、精度の向上、信頼性の高い生産が可能になります。PAS5500/100Cは、1つのスキャンで複数のレチクルを処理できるため、高効率のマシンでもあります。この手順は「バーストスキャン」と呼ばれ、生産性を大幅に向上させ、生産コストを削減することができます。ウェーハステッパーはまた、さまざまなプロセス要件に適応することができ、幅広い処理オプションを提供します。全体として、ASML PAS 5500/100Cは、高いスループットと精度を実現する高性能ウェーハステッパーです。生産時間の短縮、精度と歩留まりの向上、高品質な半導体デバイスの生産の促進に役立ちます。このユニットは非常に構成可能であり、さまざまなウェーハサイズとプロセス要件に対応できます。