中古 ASML PAS 5500 / 100C #293750016 を販売中

ASML PAS 5500/100Cは、高性能スキャンとステアリングシステムとそのクラスで最も洗練されたレンズ技術を組み合わせた高度なフォトリソグラフィーウェハステッパーです。特許取得済みの5軸モーターコントローラとオートメーションE -Beamsを活用することで、マイクロプロセッサから光電子部品まで、大量の半導体デバイスを記録的な時間で製造することができます。ASML PAS5500/100Cの高度な光学系は、現在市販されている他のウェーハステッパーとは一線を画しています。1ナノメートルの解像度を持ち、1000Xまでのレンズ拡大が可能です。これにより、最小かつ最も複雑なチップの製造に必要な微細な集積回路パターンを作成するのに理想的です。非常に小さなリソグラフィ機能を生成できるだけでなく、古典的な反復正方形や長方形から非常に複雑な線構造まで、さまざまなパターンの種類をスキャンすることもできます。PAS 5500/100Cはまた、優れた速度と精度を提供します。最大スキャン速度は800mm/秒、再現性は+/-0。5 µm、位置決め精度は0。15 µm以上です。2基の高精度サーボモータを搭載した10ゾーンのデュアルステージモーターコントローラは、ハイエンド印刷に必要な高精度でダイナミックな応答を提供します。これにより、PAS5500/100Cは、最小のフィーチャーサイズでも、優れた再現性と高い歩留まりを持つデバイスを生成できます。優れた速度と精度に加えて、ASML PAS 5500/100Cは優れたネットワーク機能と制御機能も備えています。これは、利用可能なほとんどのオートメーションまたはロボット工学プラットフォームとのインタフェースが可能であり、既存のシステムに簡単に統合したり、新しいシステム全体を作成したりすることができます。使いやすいグラフィカルインターフェイスにより、あらゆるレベルの経験を持つオペレータが複雑なリソグラフィ作業を簡単に設定および実行できます。さらに、継続的なオートキャリブレーションにより、長時間の動作にわたって最適な性能を維持します。ASML PAS5500/100Cの機能を組み合わせることで、リソグラフィープロセスのための高度で信頼性の高いツールとなります。高解像度の光学システム、高速スキャン機能、精度、信頼性の高いネットワーキング機能により、大規模および精密な製造アプリケーションに適しています。このように、PAS 5500/100Cは、現代の半導体やopto-electronic製造施設にとって貴重な機器です。