中古 ASML PAS 5500 / 100 #9218991 を販売中

ASML PAS 5500/100は、半導体製造会社ASMLによって構築された最先端のウェハステッパーで、半導体製造会社がより速く、より効率的なデバイスを製造することができます。機械にいろいろな部品があります、すべては高度の破片の生産のための厳密な要求に応じるように独特に設計されています。ASML PAS 5500/100は、2軸リニアアクチュエータ、チルトアクチュエータ、スピンドル、およびステージの位置を高い精度で測定する光学エンコーダからなるアライナーステージを備えています。このタイプの精度により、印刷するパターンの微細な詳細に応じてウェーハ上の位置を自動的に調整することができ、可能な限り正確な印刷が可能になります。ステッパーには、製造工程で安全かつ正確にウェハを輸送するために設計されたウェーハ処理装置も含まれています。このシステムは、ウェーハカセット、グリッパー、チャック、および2つの積み下ろしロボットで構成されており、それぞれに6つのパッド付き真空アームがあります。ロボットとアームはコンピュータユニットとサーボモータによって制御され、輸送中のウェーハの正確な移動を保証します。さらに、PAS 5500/100は、高度なレーザースキャン技術を使用してウェーハ上の紫外線の露出を誘導し、回路経路としての微細なラインを作成します。これは、308nmのレーザー光源によって行われ、一連のミラーとレンズに向かって光を発し、ウェーハ上の非常に小さなターゲットに照明を集中させます。PAS 5500/100の最終的な主要コンポーネントは、そのビジョンマシンです。ビジョンツールは、2台のカメラを使用し、1台は低解像度の画像をキャプチャし、もう1台は高解像度の画像をキャプチャします。この2カメラにより、ウェーハ上の微細な微細なパターンを正確に捉えることができ、高品質な半導体デバイスの生産に不可欠です。全体として、ASML PAS 5500/100は、半導体ウェーハに紫外線を高精度に露出させるために協力するさまざまなコンポーネントを備えた印象的なウェーハステッパーです。高度なレーザースキャン、2カメラのビジョンモデル、洗練されたウエハハンドリングコンポーネントにより、現代のデバイスの生産に不可欠な最も複雑で詳細な微細なパターンを作成できます。