中古 ASML PAS 5500 / 100 #9045059 を販売中

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ID: 9045059
i-Line stepper Running noncritical layers Under OEM Service contract Currently installed 1994 vintage.
ASML PAS 5500/100は、半導体産業のために設計された先進的なウェーハステッパーです。複数のウェーハの表面を一度にスキャンし、精密な画像を作成することができます。スキャンプロセスは正確かつ再現性があり、機械は欠陥を最小限に抑えて小さなデバイス構造を素早く製造することができます。この装置は、ウェーハチャックの位置決めに役立つモーター駆動のX軸とY軸を装備しています。また、Z軸スキャンが可能なオブジェクトレンズを搭載し、ウェーハの凹凸面の上でもフルウェーハをスキャンすることができます。このマシンのスキャンサイズは最大7。8 mmまたは200 μ mに達し、大きな基板や非常に小さなデバイスを処理することができます。印象的なASML PAS 5500/100には、193nmの波長で動作する25mW ArFレーザー光源が装備されています。このレーザーは、深紫外線露光と高速Z軸走査プロセスの両方のパワーを組み合わせて、迅速で正確な開発を提供します。さらに、細い線と短い間隔を使用しても、複雑なパターンでウェーハを簡単に処理および画像化できます。このシステムは、光学ユニットの2次収差を検出するために設計された特別な露光センサとインターフェイスソフトウェアで構築されています。これにより、基板の弱い振動にもかかわらず、機械が高精度で動作するため、不安定なパターンは避けられます。また、露出工程の各段階をリアルタイムで監視するため、潜在的なダメージが発生しても開発を継続できます。開発を追跡するために、マシンのコントロールパネルは完全にインタラクティブです。パネルからウェーハの状態やスキャンデータを直接見ることができ、光源を変更するジョグホイールも装備されています。要するに、PAS 5500/100は、高精度かつ高精度な画像を生成できる信頼性の高いウェーハステッパーです。25mWのArFレーザーソースと、タイトな制御と精度のための露出監視機を備えており、簡単な追跡のためのインタラクティブなコントロールパネルが付属しています。すべてで、それは最もよいプロセス結果を達成するための完全な機械です。
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