中古 ASML PAS 5500 / 100 #293814116 を販売中

ASML PAS 5500/100は、半導体業界で使用するために設計された最先端のウェーハステッパーです。1990年代初頭に開発されたASML PAS 5500/100は、半導体部品の製造において重要なステップである、高精度で費用対効果の高いパターン加工方法を提供します。PAS 5500/100は、デュアルイルミネーション、5。5インチの視野、6。25インチの高い数値開口部を備えています。50kHzのアルゴンイオンレーザーを搭載したこのステッパーは、非常に正確なパターニング機能を提供します。さらに、この装置の特許取得済みのArF-Laser Direct Imprint （LDI）システムは、200 μ mの深さの焦点で高性能な環境パッケージを提供します。また、PAS 5500/100は、ウェーハ表面の正確なアライメントを可能にする高度なウェーハ処理機構を備えています。この機能は、ウェーハ上の既存の欠陥を正確に検出できる自動化されたプリアライメントユニットによってさらに強化されます。リニアモータドライブマシンは、ステージとシャッターのずれをさらに軽減します。さらに、ASML PAS 5500/100は高度なプログラミングツールを備えており、パターン作成プロセスを簡素化します。このアセットは、PCベースのモデルソフトウェアを使用しており、エンジニアは最小限の労力で複雑な設計変更を設計および実装することができます。ASML PAS 5500/100は非常に高いスループットを実現するよう設計されており、ウェーハの最大出力は毎時100ウェーハです。この機器はまた、金型あたり25〜30秒の速度で、非常に高速な金型平均を提供します。全体として、PAS 5500/100は非常に信頼性が高く、正確なウェーハステッパーです。このシステムは、高精度で低コストの部品と最大限の信頼性を兼ね備えています。PAS 5500/100を使用すると、エンジニアはウェーハパターニングタスクが最小限の労力と最大の効率で完了することを保証できます。