中古 ASML PAS 5000 / 55A #9315876 を販売中

ASML PAS 5000/ 55Aは、DRAM、マイクロプロセッサ、ロジックデバイスなどの集積回路（IC）の製造に使用されるウェハステッパーです。レーザービームを使用してパターンをシリコンウェーハに転送する高精度イメージング装置です。ASML PAS 5000/55 Aは、光学ステージ、スキャンステージ、および制御ユニットで構成されています。光学ステージには、照明装置、ビーム分割装置、投影光学装置があります。照明ツールは、ウェーハ上に正確な大きさのスポットを生成することができる強力なレーザーです。ビーム分割アセットは、光をレーザーから2つのビームに分割し、フォトマスクパターンを作成するために使用されます。プロジェクションオプティクスモデルは、フォトマスクパターンを拡大し、ウェハ上に正確に配置します。スキャンステージはXとYの位置決めステージと回転ステージで構成されています。ステージは、光学ステージによって生成されたパターンに関してウェーハを移動するために使用されます。最後に、制御ユニットを使用して、ウェーハステッパーの動作を正確に制御します。PAS 5000/ 55Aは、従来のフィルム技術よりもはるかに高い0。25umの解像度でウェーハにパターンを印刷することができます。この機能により、DRAMなどの高密度ICの製造に最適です。また、装置のスループットも高く、短時間で数百個のICを生産することができます。さらに、PAS 5000/55 Aで必要とされる露光量が少ないため、ウェーハ上で損傷を与えることなく非常に細かい特徴を作り出すことができます。ASML PAS 5000/ 55Aは、ICの製造にしばしば採用される信頼性の高い正確なウェーハステッパーです。高精度、高スループット、低露光量を提供し、超高密度集積回路の製造に不可欠なツールです。