中古 ASML PAS 5000 / 55A #9233748 を販売中

ASML PAS 5000/ 55Aは、半導体デバイスの機能を製造するための高度な技術を採用した高精度ウェーハステッパーです。この装置は、高精度なウェーハ機能を量産するために設計されており、高度な5軸多方向プラットフォームと室内3Dデバイス位置決めシステムで構成されています。最大1ミクロンの精度で300mmウェーハをチャックに収納できます。このユニットには、高解像度の32ビットイメージプロセッサが装備されており、正確なエッジ検出とフィーチャーアライメントが可能です。それは開いた、ボーダーレス、満ちた、または逆パターンを含むパターン特徴の広い範囲を、提供します；連続的な、区分された、または複数区分されたパターン；1および2つの層の設計；そして1ステップまたは連続的な露出。既存の機能の複製や新しい機能の作成にも使用できます。この機械は、寸法精度と速度を正確に制御する864ステップモータを備えています。ASML PAS 5000/55 Aには、ユーザーフレンドリーなソフトウェアとハードウェアコンポーネントの両方を含む包括的なオペレーティングツールがあります。このソフトウェアを使用すると、アセットの設定と制御、パターンシミュレーションの実行、フォトマスクの生成が可能になります。ハードウェアは、5軸多方向プラットフォーム、室内3Dデバイス位置決めモデル、CPUおよびメモリユニット、および高解像度イメージプロセッサで構成されています。装置の高度な光学系にはオートフォーカスとオートアライメント機能が搭載されており、イメージングシステムはサブミクロン分解能を提供します。また、Ethernet経由での高速データ伝送も可能です。PAS 5000/ 55Aは、ほとんどのウェハ製造プロセスと互換性があり、高精度で信頼性の高い半導体デバイスの製造を可能にします。このユニットは、最小限の技術経験を持つユーザーから経験豊富なオペレータまで、あらゆるタイプのユーザー向けに設計されています。セットアップし、使用することは容易です；操作を成功させるために、包括的なマニュアル、チュートリアル、およびカスタマーサポートが利用可能です。この機械は優れた製造経験を提供し、ユーザーは高品質の半導体デバイスを迅速かつ効率的に生産することができます。