中古 ASML PAS 5000 / 55A #293817881 を販売中

ASML PAS 5000/ 55Aは、半導体ウェーハ上の集積回路の製造に使用されるウェーハステッパーです。「オーバースキャン」/「アンダースキャン」技術と、最適な画質を生み出すための幅広い先進的な機能を採用したハイエンドリソグラフィ機です。ASML PAS 5000/55 Aは、固定二軸ステージベースの機器を含むステップアンドリピートリソグラフィ方式を採用しています。大判ボードのアライメント精度を高めるため、最高速度500mm/sの高速位置決め機構を備えています。また、解像度0。1ミクロン、精度0。5ミクロンの高解像度光学位置決めシステムを搭載しています。PAS 5000/ 55Aは、マスキングや露出に最適なオーバーヘッドプラズマまたはクアッドエネルギー源を備えています。露光プロセスに最適な温度を確保するため、低熱予算を備えています。また、オーバーヘッド光学ユニットは幅広い調整可能なパラメータを備えており、埋め込みレイヤーの解像度と均一性を最適化するために入力と出力の両方の電力レベルを設定します。光学分野では、PAS 5000/55 Aは望遠鏡光学機械と高解像度の光学およびレンズを搭載し、最大0。7ミクロンの画像処理が可能です。また、フリンジパターン測定用のレーザー干渉計ツールも含まれており、アセットの固有の直線性を向上させ、正確なアライメントターゲティングを可能にします。ASML PAS 5000/ 55Aは、強力なキセノン照明ソースと最適化された光学アレイで構成されています。また、汎用性の高いマスクライターと自動露出最適化システムを備えています。最後に、機械を制御および管理するための直感的なソフトウェアパッケージが含まれています。全体として、ASML PAS 5000/55 Aは、最先端のリソグラフィ技術と高度なモデルアーキテクチャを提供する効率的で高性能なウェーハステッパーです。先進的な半導体プロセスの要件を満たすことができ、最先端の集積回路の生産に不可欠です。